多靶位溅射镀膜机
设备介绍
多靶位溅射镀膜机可以连续做离子清洗、高真空排气、金属溅射镀膜、在膜层表面再镀氧化物膜层、最后可以热蒸发镀防指纹AF膜的多功能镀膜设备。
设备参数
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技术参数 |
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真空室尺寸 |
Φ1600×2100（可定制） |
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工件盘尺寸 |
Φ1400×1650 |
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工件盘转速 |
0-50rpm |
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膜厚控制 |
金属镀膜 + 增投膜+ 防指纹 |
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溅射源 |
10 个 镀膜位 |
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离子源 |
阳极层离子源/PLASMA |
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高真空排气系统 |
3TMP |
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低真空排气系统 |
630机械泵+1200罗茨泵 |
设备性能
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性能 |
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真空极限 |
3.0×10-4Pa以下 |
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排气时间 |
10min(大气压~3.0×10-3Pa) |
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温度控制 |
0-300℃ |
应用领域
该设备主要广泛用于汽车灯具镀铝膜、汽车内饰件镀膜、电脑壳、手机壳、可镀制金属膜、不导电膜、电磁屏蔽膜等其他金属膜。
